常用的賀德克壓力傳感器選用N型硅片作為基片 |
點(diǎn)擊次數:756 更新時(shí)間:2020-06-26 |
賀德克壓力傳感器可分為兩類(lèi),一類(lèi)是根據半導體PN結(或肖特基結)在應力作用下,I-υ特性發(fā)生變化的原理制成的各種壓敏二極管或晶體管。這種壓力敏感元件的性能很不穩定,未得到很大的發(fā)展。另一類(lèi)是根據半導體壓阻效應構成的傳感器,這是賀德克壓力傳感器的主要品種。早期大多是將半導體應變片粘貼在彈性元件上,制成各種應力和應變的測量?jì)x器。60年代,隨著(zhù)半導體集成電路技術(shù)的發(fā)展,出現了由擴散電阻作為壓阻元件的賀德克壓力傳感器。這種壓力傳感器結構簡(jiǎn)單可靠,沒(méi)有相對運動(dòng)部件,傳感器的壓力敏感元件和彈性元件合為一體,免除了機械滯后和蠕變,提高了傳感器的性能。 半導體具有一種與外力有關(guān)的特性,即電阻率(以符號ρ表示)隨所承受的應力而改變,稱(chēng)為壓阻效應。單位應力作用下所產(chǎn)生的電阻率的相對變化,稱(chēng)為壓阻系數,以符號π表示。以數學(xué)式表示為墹ρ/ρ=πσ 式中σ表示應力。半導體電阻承受應力時(shí)所產(chǎn)生的電阻值的變化(墹R/R),主要由電阻率的變化所決定,所以上述壓阻效應的表達式也可寫(xiě)成墹R/R=πσ 在外力作用下,半導體晶體中產(chǎn)生一定的應力(σ)和應變(ε),它們之間的相互關(guān)系,由材料的楊氏模量(Y)決定,即Y=σ/ε 若以半導體所承受的應變來(lái)表示壓阻效應,則是墹R/R=Gε G稱(chēng)為壓力傳感器的靈敏因子,它表示在單位應變下所產(chǎn)生的電阻值的相對變化。 壓阻系數或靈敏因子是半導體壓阻效應的基本物理參數。它們之間的關(guān)系正如應力與應變之間的關(guān)系一樣,由材料的楊氏模量決定,即G=πY 由于半導體晶體在彈性上各向異性,楊氏模量和壓阻系數隨晶向而改變。半導體壓阻效應的大小,還與半導體的電阻率密切有關(guān),電阻率越低靈敏因子的數值越小。擴散電阻的壓阻效應由擴散電阻的晶體取向和雜質(zhì)濃度決定。雜質(zhì)濃度主要是指擴散層的表面雜質(zhì)濃度。 常用的賀德克壓力傳感器選用N型硅片作為基片。先把硅片制成一定幾何形狀的彈性受力部件,在此硅片的受力部位,沿不同的晶向制作四個(gè)P型擴散電阻,然后用這四個(gè)電阻構成四臂惠斯登電橋,在外力作用下電阻值的變化就變成電信號輸出。這個(gè)具有壓力效應的惠斯登電橋是壓力傳感器的心臟,通常稱(chēng)作壓阻電橋(圖1)。壓阻電橋的特點(diǎn)是:電橋四臂的電阻值相等(均為R0);電橋相鄰臂的壓阻效應數值相等、符號相反;電橋四臂的電阻溫度系數相同,又始終處于同一溫度下。圖中R0為室溫下無(wú)應力時(shí)的電阻值;墹RT為溫度變化時(shí)由電阻溫度系數(α)所引起的變化;墹Rδ為承受應變(ε)時(shí)引起的電阻值變化。
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